Zeiss EVO MA10 樣品室采用整塊材質(zhì)中間掏空制成，從而在同類產(chǎn)品中具有最好的束流穩(wěn)定性，受外界環(huán)境的干擾更小，保證高分辨率及獲得細(xì)節(jié)更加豐富的圖像。而日系廠商采用幾塊材質(zhì)拼接而成，受外界干擾較大，束流穩(wěn)定性較差，自然其圖像性能也大受影響。 EVO MA10 的束流范圍為0.5pA – 5uA，而其他廠商鎢燈絲掃描電鏡最束流大僅為2uA。